Kiek molibdeno strypai svarbūs puslaidininkių pramonės matmenų stabilumui?

Monokristalinio silicio ar safyro auginimo dirbtuvėse kristalų piešimo procesas dažnai trunka dešimtis ar net šimtus valandų, o temperatūros lauką reikia tiksliai valdyti virš 1400 laipsnių. Kai šiluminio lauko komponentas deformuojasi net 0,5 mm, kristalo skersmuo gali svyruoti, padidėti dislokacijos tankis ir tiesiogiai sumažėti išeiga. Daugelio inžinierių didžiausias galvos skausmas – ne staigus plyšimas, o „nematomas“ šliaužimas ir šilumos kaupimasis.

Tarp jų molibdeno strypai naudojami kaip pagrindinės konstrukcinės šiluminio lauko atraminių strypų, sėklinių kristalų gnybtų arba šildymo komponentų konstrukcinės medžiagos, o jų matmenų stabilumas žemoje{0}}šilumoje ir aukštoje{1}}temperatūroje tapo lemiamu veiksniu. Paties molibdeno šiluminis koeficientas yra labai mažas, tačiau skirtingo grynumo ir apdorojimo technologijos molibdeno strypų našumas labai skiriasi, kai ilgalaikė -aukšta temperatūra ir vakuumas. Įprasti sukepinti molibdeno strypai yra linkę į mikro-pailgėjimą, kurį sukelia grūdelių augimas po pasikartojančių terminių ciklų, o didelio-grynumo molibdeno strypai, kurie buvo kalti įvairiomis kryptimis ir atkaitinti aukštoje-temperatūroje, turi tolygesnę grūdelių orientaciją ir žymiai didesnį atsparumą valkšnumui. Kaupiamoji deformacija kontroliuojama labai mažame diapazone.

Naudojome gamyklą, gaminančią 6-colių safyro krištolo strypus. Pirmosiomis dienomis buvo naudojami įprasti molibdeno atraminiai strypai. Terminis laukas turėjo būti kalibruojamas kas kelis ištrauktus kristalus, o išeiga svyravo apie 65%. Vėliau, pakeitus puslaidininkinio tipo molibdeno strypą mūsų optimizuota grūdelių struktūra, pailgėjo nepertraukiamo tempimo laikas vienoje krosnyje, žymiai sumažėjo terminio lauko svyravimai, pagerėjo gatavo kristalo skersmens konsistencija, o bendra išeiga padidėjo beveik 15 procentinių punktų. Mažiau keičiamų komponentų ir mažesnis parametrų koregavimas ne tik sumažina išlaidas, bet ir stabilizuoja gamybos ritmą.

Kodėl šis punktas toks kritiškas? Kadangi puslaidininkių kristalų augimas yra tipiškas „lėto darbo ir puikaus darbo“ procesas, bet koks nedidelio dydžio poslinkis bus sustiprintas per temperatūros gradientą ir galiausiai atsispindės kristalų defektuose. Aukštos-kokybės molibdeno strypai sumažina šio nukrypimo riziką, todėl procesų inžinieriai gali labiau pasitikėti liejimo greičiu ir valdymu, o ne nerimauti dėl konstrukcijos deformacijų.

Esant dabartinei sparčiai didelių -dydžių kristalų ir trečiosios-kartos puslaidininkinių medžiagų fazei, reikalavimai įrangos stabilumui tik augs ir aukštesni. Molibdeno strypas, kurio paviršius nesiskiria, iš tikrųjų gali nustatyti, kiek kvalifikuotų plokštelių pagaminama kiekvieną mėnesį.

Jei atliekate vieno -kristalų auginimo įrangos priežiūrą, terminio lauko atnaujinimą ar naujo projekto pasirinkimą, papasakokite apie terminio lauko stabilumo ar kristalų problemas, su kuriomis šiuo metu susiduriate. Galime derinti specifinę temperatūros kreivę ir įrangos struktūrą, kad pateiktume tikslingesnę molibdeno strypų medžiagą ir apdorojimo pasiūlymus, kurie padėtų visiškai kontroliuoti „nematomus“ paslėptus deformacijos pavojus.

Stabilizuokite šiluminį lauką ir kristalas natūraliai augs gerai{0}}tai yra mūsų investicijų į puslaidininkinius molibdeno strypus pagrindinis tikslas.